電子廠的廢氣成分主要包括有機溶劑、揮發性有機化合物、氮氧化物、氯氣、氫氟酸等。這些廢氣對環境和人類健康具有一定的危害，需要通過廢氣處理設備進行處理。
電子廢氣治理一般可以采用以下方法：
1.物理治理：將廢氣通過物理方法分離、吸附和膜分離等方式，去除其中的有害物質。
2.化學治理：利用化學方法將廢氣中的有害物質轉化為無害物質，如利用催化劑將廢氣中的一氧化碳轉化為二氧化碳。
3.生物治理：通過微生物的生長代謝作用，將廢氣中的有害物質轉化為無害物質，如利用微生物對廢氣中的氮氧化物進行處理。
4.吸收劑法：通過吸收劑將廢氣中的有害物質吸收到吸收劑中，然后再對吸收劑進行處理。
選擇何種方法需要根據不同的廢氣成分來決定，同時要考慮工藝、經濟和環保效益等多個因素。
治理電子廢氣可以選擇如下組合：
1.噴淋塔+高能氧化廢氣凈化設備+活性炭吸附箱+風機
2.噴淋塔+等離子油煙凈化器+活性炭吸附設備+風機
3.旋風噴淋塔+濕電凈化器+活性炭吸附設備+風機
4.噴淋塔+催化燃燒
以上設備組合可以針對廢氣的濃度，廢氣量的大小進行具體情況具體選擇，可以請教環保專業人員的意見。